Koja je prethodna obrada potrebna za oblaganje vafera?

 

Osnovni cilj obrade vafelja

Uklonite nečistoće, uklonite organsku tvar, sloj oksida, zaostalo ljepilo i drugo zagađenje

Aktivira površinu, pojačava vodljivost sjemenskog sloja i potiče smanjenje bakra

Poboljšava vlažnost, sprječava da mjehurići zraka vise u bunarima/površinama, a omogućava ispunjenje tekućina

0020-33806 Gornja komora DPS + Poly

Koji su tretmani prije obloga?

Uzmimo za primjer bakra s elektroplenom

Oslivanje, plazma pesja .: Uklonite PR ostatak s dna rupe za oblaganje kako biste izbjegli "loš kontakt", a s druge strane, modificirajte sjemenski sloj na površini vafera kako biste poboljšali adheziju između sloja za ploče i sloja sjemena

Mokro čišćenje, u kojem je vafer uronjen u koncentriranu ili razrijeđenu klorovodičnu kiselinu kako bi se uklonio oksidni sloj bakra . bakreno oksidira u zraku, što povećava adheziju ploče i izbjegava curenje .

U okruženju čiste sobe, površina vafesa uglavnom nema mrlje od ulja, tako da je lako provesti prethodnu obradu mrlja od ulja .

 

KRAJ