Kakav je učinak temperature površine ploče na suho jetkanje?

Učinci površinske temperature na suho jetkanje uglavnom uključuju: taloženje polimera, selektivnost, protok fotorezista, hlapljivost proizvoda i brzinu jetkanja, morfologiju površine, jetkanje, jetkanje

Taloženje polimera: Polimeri proizvedeni tijekom procesa talože se na površini, utječući na brzinu jetkanja i selektivnost. Temperatura utječe na brzinu taloženja i stabilnost polimera, pri čemu visoke temperature razgrađuju ili smanjuju slojeve taloženja, a niske temperature povećavaju taloženje polimera.

0021-09835 R2Liner je dio za jetkanje.
Selektivnost: Selektivnost materijala za jetkanje i materijala za maskiranje vrlo je osjetljiva na temperaturu. Previsoke temperature će smanjiti selektivnost jetkanja jer će se ubrzanje brzine jetkanja podudarati s maskom za jetkanje. Fotorezist: Kada fotorezist teče na visokim temperaturama, fotorezist će omekšati, teći i čak nabubriti, što će rezultirati izobličenjem topografije.
Hlapljivost proizvoda i brzina jetkanja: Temperatura utječe na hlapljivost nusproizvoda kemijskih reakcija, a nusprodukti su hlapljiviji na visokim temperaturama, što pomaže povećati brzinu jetkanja. Niske temperature, s druge strane, dovode do ostataka nusproizvoda i smanjuju učinkovitost jetkanja.
Topografija jetkanja: Temperatura jetkanja je blizu temperature staklenog prijelaza (Tg) materijala, a topografija površine je ujednačena. Temperatura jetkanja mnogo je niža od temperature staklenog prijelaza, a površinsko jetkanje je neravnomjerno i hrapavost je velika.