Kakav je učinak pritiska komore na jetkanje?

Što jeEučinak odCkomoraPuvjeriti seEtching?

Kako se regulira tlak u komori? Kakav je učinak na rezultate jetkanja?

Što je tlak u komori? Tlak u komori odnosi se na tlak plina u procesnoj komori opreme za jetkanje, obično mjeren u Torr-u ili Pascalu.

o Što određuje tlak u komori?
1. Što je veći protok plina, veći je i tlak.
2. Vakuumska pumpa je odzračena, a što je veća brzina pumpe, niži je tlak u komori.

o Učinak pritiska komore na jetkanje
1. Energija ionskog bombardiranja. Nizak tlak, veliki srednji slobodni put molekula, mala vjerojatnost sudara iona, manja disipacija energije, dakle visoka energija.
2. Omjer iona i slobodnih radikala. Pri niskom tlaku udio iona je visok, što pogoduje fizičkom jetkanju. Pri visokom tlaku, visok udio slobodnih radikala pogoduje kemijskom jetkanju.

Jednolikost jetkanja. Pri visokom tlaku, visokofrekventni sudari smanjit će brzinu protoka plina, a slobodni radikali će lakše difundirati na sve dijelove površine pločice, uključujući rubno područje, a koncentracija reaktanata izloženih cijeloj površini pločice bit će ujednačena, a brzina jetkanja će težiti da bude ista.

Sažetak
0020-24896 POKLOPNI PRSTEN 6" SST 101 AL

0020-28205 6" TI POKROVNI PRSTEN
S povećanjem tlaka u komori, reakcija jetkanja postupno prelazi iz fizičkog jetkanja u fizičko + kemijsko jetkanje u kemijsko jetkanje.